等离子清洗机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果;腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。

　　由于等离子清洗机所释放出的这种等离子体属于气态的性质，所以对物体表面的粗糙程度、弯曲、空隙等各种形状都能起到很到的清洗作用且不会损害被处理面。

　　等离子表面处理机清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

　　等离子清洗设备特点：

　　1、高效废气净化：本设备能高效去除挥发性有机物(VOC)、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物。

　　2、无需添加任何物质：低温等离子体废气处理是一种干法净化过程，是一种全新的净化过程，运行过程无需添加任何添加剂，不产生废水、废渣，不会导致二次污染。

　　3、低温等离子设备自动化程度高,工艺简洁,操作简单,方便.无需专人看管，遇故障自动停机报警。

　　4、适应范围广： 在高温 350℃,低温-20℃的环境内,净化区均可运转,特别是在潮湿,甚至空气湿度饱和的环境下仍可正常运行。

　　5、设备使用寿命长：本设备由不锈钢材，铜材、绝缘子等材料组成，抗氧化性强，在酸性气体中耐腐蚀。

　　6、节能：运行费用低廉，低温等离子设备组合性强：可以窜并联混合应用。

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