等离子表面处理设备最早出现在德国，是世界上最早研发，实践的地点。最早只是常温等离子设备，随着科技的发展出现了低温低压等离子设备，等离子射频电源等。 等离子清洗机设备主要用于清洗，刻蚀，磨砂和表面准备等，用三种不同的射频发射器，来适应不同的清洗效率和清洗效果需要，等离子清洗设备具有成本低，操作灵活的特点，使用于各个领域。

　　金属表面去油污并清洗

　　1.灰化表面有机层

　　-表面会受到物理轰击和化学处理

　　-在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发

　　-污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空泵抽出

　　-紫外辐射破坏污染物

　　因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。

　　2.氧化物去除

　　金属氧化物会与处理气体发生化学反应

　　这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合气体。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面，第二步用氢气和氩气的混合气体去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。

　　3.焊接

　　通常，印刷线路板(PCB)在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。

　　4.键合

　　好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洗。

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