好的行星减速机材料，有利于提高齿轮减速机的承载力及使用寿命。针对精密减速机的结构特点和齿轮的载荷性质，应该广泛采用硬齿面齿轮。获得硬齿面齿轮热处理方法有很多。如表面淬火、整体淬火、渗碳淬火、渗氮等，应根据齿轮行星减速机的特点选定。

　　2.渗氮

　　采用渗氮可保证齿轮在变形最小的条件下，达到很高的齿面硬度和耐磨性，热处理后不再进行最好的精加工，提高了承载能力。

　　3.渗碳淬火

　　渗碳淬火齿轮具有相对较大的承载能力，但必须采用精加工工序(磨齿)来消除热处理变形，以保证精度。

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